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電子半導體工業潤滑解決方案
查看人數：59發表時間：2026-03-13 11:16:18
電子半導體工業用高性能潤滑劑
保護敏感電子元器件的多功能潤滑劑
在電子和半導體制造領域，污染可能影響設備精度、操作再現性和設備的使用壽命。當用于真空泵和潔凈室內時，高性能潤滑劑有助于減少在制造電子及半導體的空間內產生的污染物和揮發性氣體。從而提高產量，同時延長設備的使用壽命。
多功能、耐高溫、抗腐蝕潤滑劑（潤滑脂、潤滑油和真空泵油）還可以用于各種生產線部件，其中包括：
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軸承
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閥門
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密封件
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O 圈
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鏈條
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壓縮機
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變速箱
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機械泵及其他部件
高性能潤滑劑可以為電子和半導體行業提供潤滑防護。這是一類長效潤滑油和潤滑脂，通常用于油泵、干泵、真空系統、潔凈室、機器人系統等。
潔凈室用高穩定性潤滑劑
高性能潤滑劑可以耐受極端溫度和壓力，可以為敏感的電子元器件提供更為穩定的工作環境。
由于活性化學品和物質本身就是半導體和電子元器件的安全隱患，因此，使用不能與這些半導體或電子元器件相容的潤滑劑便會損壞組件。高性能潤滑劑具有化學惰性和生物惰性，因而可以與氧氣相容，并且與化學品、塑料、金屬和彈性體不會發生反應。
高性能潤滑劑潤滑劑不僅能在嚴苛的工況下展現穩定和安全的性能，而且使用壽命更長，因此無需頻繁地為部件補充潤滑油。
高性能潤滑劑還具有適用于電子和半導體行業的其他性能，其中包括：
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出色的蒸氣壓，在-15℃ 至 300℃（5℉ 至 572℉）溫度范圍內，有著低至 10-13 mmHg 的蒸氣壓
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不會與酸性或堿性清潔劑、消毒劑、蒸汽和水分發生反應，因而可以防止損壞組件
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不含揮發性有機化合物 (VOC) 或氯
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環境足跡小 — 潤滑油可再生
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與半導體工業中常用的化學品相容
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可應對極端工況的出色性能
低蒸氣壓 (LVP)潤滑脂 和真空泵油 (VPF) 潤滑油在以下環境中提供出色的性能：
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低壓
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極高或極低溫
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接觸有害化學物質或氣體
VPF（真空泵油）
VPF 可在傳統真空泵油會導致安全、廢棄物處置和維護問題的領域大顯身手。
VPF 的穩定性相當高，有助于減少與廢棄物和維護相關的問題。其不燃，可以降低泵內起火的風險。
此外，VPF 不含縮醛基團，因此不易被半導體制程中的關鍵元素 — 路易斯酸影響。憑借這些獨有的性能，VPF 獲得了主流真空泵制造商的廣泛認可。
LVP（低蒸氣壓）潤滑脂
LVP 潤滑脂不會燃燒、分解或反應生成膠狀或固體沉積物，也不會助燃。
這些特性使 LVP 潤滑脂能夠在無法使用烴基潤滑脂、硅基潤滑脂和氯氟烴基潤滑脂的環境下大顯身手。LVP 潤滑脂可在低蒸氣壓以及惡劣的化學環境下工作。即便是在這些工況下， LVP 潤滑脂仍可以展現久經驗證的性能。
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